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製品販売半導体製造用装置
半導体製造用装置
4インチ対応 ウェハーワックス貼付装置（商品名：TEC-1006ZR）
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セラミックプレートへの多数枚ウェハー貼付作業を自動化に！
特長
ウェハーの貼付平坦度の安定化を実現（当社実績2.5um）
多数枚ウェハーに対応可能
2インチ：最大10枚、3インチ：最大5枚、4インチ：最大3枚まで貼り付けが可能です。
多彩なレシピに対応可能
ヒーター、WAX塗布、プレス、冷却などの多彩なレシピに対応可能です。
条件の最適化により高スループットを実現します。（当社実績：2インチ×8枚＝15分以内）
サイズ（幅×奥行×高さ）
940mm×810mm×1680mm / 500kg
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