特長

画像認識搭載のフル・オート操作

ウェハのロードから画像認識を行い、加工後のアンロードまで全て自動で処理します。

オートウェハアライメント機能

フルオートブレーク装置に不可欠なオートアライメント機能付きです。

ブレーク認識機能搭載

ブレーク出来たか否かの検知をすることで、ダブルチップの発生の低減を実現しました。

高剛性設計による小チップ対応

小チップ対応を実現します。

ローダー・アンローダー・システム

リング25枚を収納できるカセットの搭載が可能です。

カスタムブレークブレード可能

ブレード刃先の先端形状などのカスタマイズが可能です。