特長

6インチウェハに標準対応

ブレークブレードとワークテーブルを交換することで、2インチから4インチウェハにも対応可能です。

ブレーク認識機能搭載

自動機には欠かせないブレーク認識機能の搭載により、ブレークミスを減少させます。

リング搬送機能向上によるスループットの向上

ダブルアーム搬送により、ウェハのロード時間を短縮します。

画像認識機能向上による操作性の向上

視認性の向上により、画像認識時のマッチングエラーを減少させます。