PRODUCT产品销售
产品销售半导体制造设备
半导体制造设备
支援4英寸之晶元蜡粘贴装置（商品名称：TEC-1006ZR）
-
可将多量晶元黏贴至陶瓷板上的作业自动化。
优点
实现晶元的粘贴平坦度的稳定化(本公司实际成果2.5um)
可支援复数晶元
2英寸：最多可贴10张；3英寸：最多可贴5张；4英寸：最多可贴3张。
能支援多样化的Recipe
能支援加热器，WAX涂布，压模，冷却等的多样化的Recipe。
根据优化条件以实现高生产量。（本公司实际成果:2英寸*8张=15分以内）
尺寸（长×宽×高）
940mm×810mm×1680mm / 500kg
产品咨询请前往以下页面联络我们。
前往聯絡我們